モンテカルロシミュレーションによるCF_4プラズマ解析
モンテカルロシミュレーションによるCF_4プラズマ解析
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使用蒙特卡罗模拟进行 CF_4 等离子体分析
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森直樹
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Nagao;et al.;森直樹;荒木田大嗣;森直樹
