Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi, Yasuhiro Takaya, Shoichi Shimada: "High sensitivity optical detection of oriented microdefects on silicon wafer surfaces using annular illumination"2001 CIRP GENERAL ASSEMBLY, CIRP ANNALS. 50/1. 389-392 (2001)
Takashi Miyoshi, Satoru Takahashi, Yasuhiro Takaya, Shoichi Shimada: "High sensitivity optical detection of oriented microdefects on silicon wafer surfaces using annular illumination"2001 CIRP GENERAL ASSEMBLY, CIRP ANNALS. 50/1. 389-392 (2001)
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Takashi Miyoshi、Satoru Takahashi、Yasuhiro Takaya、Shoichi Shimada：“使用环形照明对硅晶片表面定向微缺陷进行高灵敏度光学检测”2001 CIRP 大会，CIRP ANNALS。
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