Preparation of zinc oxide films containing Be and N atoms by radio frequency magnetron sputtering
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DOI：
10.1016/j.tsf.2004.06.197
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发表时间：
2005-01
期刊：
影响因子：
2.1
通讯作者：
Masahiro Sanmyo;Y. Tomita;Kenkichiro Kobayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masahiro Sanmyo;Y. Tomita;Kenkichiro Kobayashi
