マイクロプローブを用いたスロットダイコーターの精密溝幅計測に関する研究
マイクロプローブを用いたスロットダイコーターの精密溝幅計測に関する研究
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利用微探针精确测量狭缝模头涂布机槽宽的研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
中科院分区：
文献类型：
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作者：
So Ito;Yuanliu Chen;Hirotaka Kikuchi;Ryo Kobayashi;Yuki Shimizu;Wei Gao;Kazuhiko Takahashi;Toshihiko Kanayama;Kunmei Arakawa;Atsushi Hayashi;伊東聡，陳遠流，菊地浩貴，清水裕樹，高偉，高橋和彦，金山利彦，荒川訓明，林敦
