Modeling Secondary Electron Emission from Line Edge Patterns in Scanning Ion Microscopes
Modeling Secondary Electron Emission from Line Edge Patterns in Scanning Ion Microscopes
复制标题
扫描离子显微镜中线边缘图案的二次电子发射建模
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Yamanaka K
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ohya K;Yamanaka K
