Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect
Development of Fine Feed Table for Non-Contact Support and Positioning with Squeezed-Air Effect
复制标题
压缩空气效应非接触支撑和定位精进工作台的开发
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tetsuya Matsumoto and Hiroki Shimizu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuma Tamaru;Tetsuya Matsumoto and Hiroki Shimizu
