A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer
A High Resolution Single Gold Proof-Mass CMOS-MEMS Accelerometer
复制标题
高分辨率单金质量 CMOS-MEMS 加速度计
DOI：
10.7567/ssdm.2020.c-9-02
复制
发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Hiroyuki Ito
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takashi Ichikawa;Kohei Shibata;T. Koga;K. Machida;S. Iida;N. Ishihara;K. Masu;Hiroyuki Ito
