Shoji Den et al.: "Diagnostics of fluorocarbon radicals in a large-area permanent magnet electron cyclotron resonance etching plasma" Jpn.J.Appl.Phys.35-12B. 6528-6533 (1996)
Shoji Den et al.: "Diagnostics of fluorocarbon radicals in a large-area permanent magnet electron cyclotron resonance etching plasma" Jpn.J.Appl.Phys.35-12B. 6528-6533 (1996)
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Shoji Den 等人：“大面积永磁体电子回旋共振蚀刻等离子体中氟碳自由基的诊断”Jpn.J.Appl.Phys.35-12B。
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