K.Takahashi,A.Itoh,T.Nakamura,K.Tachibana: "Radical Kinetics for Polymer Deposition in Fluorocarbon (C_4F_8, C_3F_6 and C_5F_8) Plasmas"Thin Solid Films. 374・2. 303-310 (2000)
K.Takahashi,A.Itoh,T.Nakamura,K.Tachibana: "Radical Kinetics for Polymer Deposition in Fluorocarbon (C_4F_8, C_3F_6 and C_5F_8) Plasmas"Thin Solid Films. 374・2. 303-310 (2000)
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K.Takahashi、A.Itoh、T.Nakamura、K.Tachibana：“氟碳（C_4F_8、C_3F_6 和 C_5F_8）等离子体中聚合物沉积的自由基动力学”固体薄膜374・2。
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