D.Y.Sim: "Pneumatic Microvalve Based on Si Micromachining" T.IEE Japan. 116-E. 56-61 (1996)
D.Y.Sim: "Pneumatic Microvalve Based on Si Micromachining" T.IEE Japan. 116-E. 56-61 (1996)
复制标题
D.Y.Sim：“基于硅微加工的气动微型阀”T.IEE 日本。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
