秋山伸幸, 鈴木寿朗, 川田賢司, 吉田昌弘, 八掛保夫: "SiO_2薄膜付きウエハ上微粒子からの散乱光検出"精密工学会誌. 68巻4号. 531-535 (2002)
秋山伸幸, 鈴木寿朗, 川田賢司, 吉田昌弘, 八掛保夫: "SiO_2薄膜付きウエハ上微粒子からの散乱光検出"精密工学会誌. 68巻4号. 531-535 (2002)
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Nobuyuki Akiyama、Toshiro Suzuki、Kenji Kawada、Masahiro Yoshida、Yasuo Yakake：“利用 SiO_2 薄膜检测晶圆上细小颗粒的散射光”，日本精密工程学会杂志，第 68 卷，第 4 期，531-。 535（2002）
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