Low energy electron channeling contrast imaging from 4H-SiC surface by SEM and its comparison with CDIC-OM and PL imaging
Low energy electron channeling contrast imaging from 4H-SiC surface by SEM and its comparison with CDIC-OM and PL imaging
复制标题
4H-SiC 表面 SEM 低能电子通道对比成像及其与 CDIC-OM 和 PL 成像的比较
DOI：
10.4028/www.scientific.net/msf.897.193
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Tadaaki Kaneko
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Koji Ashida;Toru Aiso;Manabu Okamoto;Hirokazu Seki;Makoto Kitabatake;Tadaaki Kaneko
