Takahiro Namazu, Yoshitada Isono and Takeshi Tanaka: "Evaluation of Size Effect on Mechanical Properties of Single Crystal Silicon by Nano-Scale Bending Test using AFM"Journal of MEMS, IEEE. Vol.9, No.4. 450-459 (2000)

Takahiro Namazu, Yoshitada Isono and Takeshi Tanaka: "Evaluation of Size Effect on Mechanical Properties of Single Crystal Silicon by Nano-Scale Bending Test using AFM"Journal of MEMS, IEEE. Vol.9, No.4. 450-459 (2000)
复制标题

Takahiro Namazu、Yoshitada Isono 和 Takeshi Tanaka:“使用 AFM 进行纳米级弯曲测试来评估单晶硅机械性能的尺寸效应”Journal of MEMS、IEEE。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献