T. Arai ,S. Aikyo and M. Goto: "Influence of Wall Heating on CF_2 Radical in CF4 Hollow Cathode Discharge Plasma"Czechoslovak Journal of Physics. Vol.50. 293-296 (2000)
T. Arai ,S. Aikyo and M. Goto: "Influence of Wall Heating on CF_2 Radical in CF4 Hollow Cathode Discharge Plasma"Czechoslovak Journal of Physics. Vol.50. 293-296 (2000)
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T.荒井，S.
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