J.Mostaghimi, T.Sakuta 他: "Transient response of the radio frequency inductively coupled Plasma to a sudden change in power" J.of Applied Physics. 83. 1898-1908 (1998)
J.Mostaghimi, T.Sakuta 他: "Transient response of the radio frequency inductively coupled Plasma to a sudden change in power" J.of Applied Physics. 83. 1898-1908 (1998)
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J.Mostaghimi、T.Sakuta 等人：“射频感应耦合等离子体对功率突然变化的瞬态响应”J.of 应用物理学 83. 1898-1908 (1998)。
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