スパッタリング法により作製したスパッタリング法により作製した酸化バナジウム薄膜の電気的・光学的特性に及ぼす熱処理効果
スパッタリング法により作製したスパッタリング法により作製した酸化バナジウム薄膜の電気的・光学的特性に及ぼす熱処理効果
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热处理对溅射法制备氧化钒薄膜电学和光学性能的影响
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
横山 春喜
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤 滉悟;横山 春喜
