Si導波層を有する磁気光学導波路実現のためのSiと磁性ガーネットのウェハボンディング
Si導波層を有する磁気光学導波路実現のためのSiと磁性ガーネットのウェハボンディング
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硅与磁性石榴石晶圆键合实现硅波导层磁光波导
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
谷和也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. Hikita;Y. Kato;J. Hosaka;内海祐樹;谷和也
