Absolute Surface Figure Measurement by PS/PDI with Two Optical Fibers-Requirement for Positional Accuracy of Optical System-
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复制标题
两根光纤PS/PDI绝对面形测量-光学系统位置精度要求-
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
松浦敏晋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kamikawa R;Masuda I;Ueda m;Oyama K;Yoshimatsu S;Inagaki Y;Sako Y.;柴田茂;Toshiaki Matsuura;柴田茂;松浦敏晋;柴田茂;松浦敏晋
