Distributions of electron density and deposition rate of a narrow-gap plasma polymerization system

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窄间隙等离子体聚合系统的电子密度和沉积速率分布

DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
XXVII International Conference on Phenomena in Ionized Gases, (July 17-22, Netherlands), 10-200 CD-ROM
影响因子：
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通讯作者：
T.Kikkawa
T.Kikkawa
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
K.Kinoshita;K.Nakamura;J.Kawahara;O.Kiso;N.Toyoda;H.Sugai;T.Kikkawa

文献摘要

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