衍射光栅机械刻划过程的有限元仿真分析
衍射光栅机械刻划过程的有限元仿真分析
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DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
姜伟平
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石广丰;史国权;张垒垒;姜伟平
