Fabrication of GaAs/AlGaAs nano-pillars using bio-tempate combined with neutral beam defect-free etching
Fabrication of GaAs/AlGaAs nano-pillars using bio-tempate combined with neutral beam defect-free etching
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利用生物模板结合中性束无缺陷刻蚀制备 GaAs/AlGaAs 纳米柱
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
and Seiji Samukawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Cdric Thomas;Yosuke Tamura;Akio Higo;Naofumi Okamoto;Ichiro Yamashita;and Seiji Samukawa
