Interaction of hydrogen plasma with hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy
Interaction of hydrogen plasma with hydrogenated amorphous carbon film, investigated by infrared spectroscopy
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通过红外光谱研究氢等离子体与氢化非晶碳膜的相互作用
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masanori Shinohara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
六田朋美;近藤龍二;荒川純一;濱田俊之;迫田達也;Toshiyuki Hamada;Toshiyuki Hamada;荒川純一;六田朋美;迫田達也;六田朋美;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara;Masanori Shinohara
