沟道宽度对65nm金属氧化物半导体器件负偏压温度不稳定性的影响研究
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DOI:
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发表时间:
2018
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
郭旗
中科院分区:
文献类型:
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作者:
崔江维;郑齐文;余德昭;周航;苏丹丹;马腾;魏莹;余学峰;郭旗