反応性プラズマプロセスを用いた機能性薄膜合成
反応性プラズマプロセスを用いた機能性薄膜合成
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使用反应等离子体工艺合成功能薄膜
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
節原 裕一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹中 弘祐;内田 儀一郎;節原 裕一
