Characterizations of the carbon nanomechanical resonator fabricated from SU-8 by FIB/EB dual beam lithography
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复制标题
FIB/EB 双束光刻法制备 SU-8 碳纳米机械谐振器的表征
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Reo Kometani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuto Miyata;Shin’ichi Warisawa;Sunao Ishihara;Reo Kometani
