Atomic Layer Deposition-Derived Nanomaterials: Oxides, Transition Metal Dichalcogenides, and Metal–Organic Frameworks
Atomic Layer Deposition-Derived Nanomaterials: Oxides, Transition Metal Dichalcogenides, and Metal–Organic Frameworks
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DOI：
10.1021/acs.chemmater.9b04414
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发表时间：
2020-10
影响因子：
8.6
通讯作者：
Zhiwei Zhang;Yuting Zhao;Zhe Zhao;Gaoshan Huang;Y. Mei
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Zhiwei Zhang;Yuting Zhao;Zhe Zhao;Gaoshan Huang;Y. Mei
原子层沉积（ALD）是一种有效的制备纳米膜的技术，具有原子尺度精度，高均匀性，上级保形性，以及在不同表面上的良好可及性。
Atomic layer deposition (ALD) is an effective technique of preparing nanomembranes with atomic scaling precision, high uniformity, superior conformality, and excellent accessibility on different su...