ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
ステージ駆動力と表面形状を用いた大型超精密スキャンステージのオートフォーカス/レベリング制御
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利用平台驱动力和表面形状对大型超精密扫描平台进行自动对焦/调平控制
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
佐伯和明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坂田晃一;藤本博志;大友剛;佐伯和明
