Controllability of Mesoscopic Surface Roughness of Sputtered A1 and A1-N Films
Controllability of Mesoscopic Surface Roughness of Sputtered A1 and A1-N Films
复制标题
溅射 A1 和 A1-N 薄膜细观表面粗糙度的可控性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K.Miyamura
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Ishiguro;K.Miyamura
