Precision measurement and decoupled control of a planar motion stage
Precision measurement and decoupled control of a planar motion stage
复制标题
平面运动平台的精密测量和解耦控制
DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
et al.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Song Yi Dian;et al.
