Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices
Bio-Nano Crystallization of Amorphous Si Thin-Film for MEMS Devices
复制标题
用于 MEMS 器件的非晶硅薄膜的生物纳米结晶
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M. Sasaki
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Kumagai;I. Yamashita;Y. Uraoka;M. Sasaki
