H.Kubota,M.Easterbrook,M.Tokunaga,M.Nagata,I.Sakata and M.A Nicolet: "DEFECT-INDUCED OXIDATION OF TiN IN ION-BEAM-ASSISTED DEPOSITION PROCESS" Defectrecognition and Image processing. (印刷中). (1995)
H.Kubota,M.Easterbrook,M.Tokunaga,M.Nagata,I.Sakata and M.A Nicolet: "DEFECT-INDUCED OXIDATION OF TiN IN ION-BEAM-ASSISTED DEPOSITION PROCESS" Defectrecognition and Image processing. (印刷中). (1995)
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H. Kubota、M. Easterbrook、M. Tokunaga、M. Nagata、I. Sakata 和 M. A Nicolet:“离子束辅助沉积过程中 TiN 的缺陷诱导氧化”缺陷识别和图像处理(正在出版)。 )。1995)。
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