H.Kubota,M.Easterbrook,M.Tokunaga,M.Nagata,I.Sakata and M.A Nicolet: "DEFECT-INDUCED OXIDATION OF TiN IN ION-BEAM-ASSISTED DEPOSITION PROCESS" Defectrecognition and Image processing. (印刷中). (1995)

H.Kubota,M.Easterbrook,M.Tokunaga,M.Nagata,I.Sakata and M.A Nicolet: "DEFECT-INDUCED OXIDATION OF TiN IN ION-BEAM-ASSISTED DEPOSITION PROCESS" Defectrecognition and Image processing. (印刷中). (1995)
复制标题

H. Kubota、M. Easterbrook、M. Tokunaga、M. Nagata、I. Sakata 和 M. A Nicolet:“离子束辅助沉积过程中 TiN 的缺陷诱导氧化”缺陷识别和图像处理(正在出版)。 )。1995)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献