Electrothermal actuation of NEMS resonators: Modeling and experimental validation
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DOI：
10.1063/5.0157807
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发表时间：
2023-08-21
影响因子：
3.2
通讯作者：
Ekinci，K. L.
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Ma，Monan;Ekinci，K. L.
