化合物半導体GaAs単結晶製造装置における熱・物質移動シミュレーション
化合物半導体GaAs単結晶製造装置における熱・物質移動シミュレーション
复制标题
化合物半导体砷化镓单晶制造设备中的传热传质模拟
DOI：
--
复制
发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
堂賢人,菊田和重
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
タンチアヨアン;小杉直央;鳥居大地;菊川豪太;小原拓;堂賢人,菊田和重
