Wavelength dependence for silicon-wafer temperature measurement by autocorrelationtype frequency-domain low-coherence interferometry
Wavelength dependence for silicon-wafer temperature measurement by autocorrelationtype frequency-domain low-coherence interferometry
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自相关型频域低相干干涉测量硅片温度的波长依赖性
DOI：
10.1364/ao.54.007088
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
1.9
通讯作者：
M. Hori
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Tsutsumi;T. Ohta;K. Takeda;M. Ito;M. Hori
