集束イオンビーム法によるInSb表面微細構造作製条件の検討
集束イオンビーム法によるInSb表面微細構造作製条件の検討
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采用聚焦离子束法检查 InSb 表面微观结构制造条件
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
谷脇雅文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
石川修;横山和弘;高橋和之;谷脇雅文
