ナノクラスターの気相堆積で形成される薄膜構造の評価
ナノクラスターの気相堆積で形成される薄膜構造の評価
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纳米团簇气相沉积形成的薄膜结构的评价
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
島田学
中科院分区：
文献类型：
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作者：
飯田大樹;島田学
