K.Furukawa et al: "Effects of ion irradiation on silicon oxidation in electron cyclotron resonance Argon and oxygen mixed plasma"J.Appl.Phys. 88. 1664-1669 (2000)
K.Furukawa et al: "Effects of ion irradiation on silicon oxidation in electron cyclotron resonance Argon and oxygen mixed plasma"J.Appl.Phys. 88. 1664-1669 (2000)
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K.Furukawa等人：“电子回旋共振氩氧混合等离子体中离子辐照对硅氧化的影响”J.Appl.Phys。
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