M.Hasebe: "2D modeling of nonvolatile particle transport from etched surface in RIE" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 186-189 (1998)
M.Hasebe: "2D modeling of nonvolatile particle transport from etched surface in RIE" Proceedings of 15^<th> Symp.On Plasma Processing. 1. 186-189 (1998)
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M.Hasebe：“RIE 中蚀刻表面的非挥发性颗粒传输的二维建模”第 15 期 Symp.On 等离子体处理论文集。
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