シリコンインゴットの部位における機械特性の依存性をボロンとゲルマニウムのコドープシリコンによる評価
シリコンインゴットの部位における機械特性の依存性をボロンとゲルマニウムのコドープシリコンによる評価
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使用硼和锗共掺杂硅评估机械性能对硅锭部件的依赖性
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
白田竜也
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hama;T.,Seto;Y.;Tanaka;M.;Kusano;H.;Hirano;Y.;Aoki;Y.;Saito;H.;Kimpara;I.;白田竜也
