Miniaturized Thermal Acoustic Gas Sensor Based on a CMOS Microhotplate and MEMS Microphone
Miniaturized Thermal Acoustic Gas Sensor Based on a CMOS Microhotplate and MEMS Microphone
复制标题
基于 CMOS 微热板和 MEMS 麦克风的小型热声气体传感器
DOI：
10.3390/proceedings2020056003
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Hopper R
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hopper R
