S.Miyake,Y.Setsuhara,Y.Sakawa and T.Shoji: "Intrenal-antenna driven inductive RF discharges for development of large-area high-density plasma sources with supressed electrostatic coupling"Vacuum. 59. 472-478 (2001)
S.Miyake,Y.Setsuhara,Y.Sakawa and T.Shoji: "Intrenal-antenna driven inductive RF discharges for development of large-area high-density plasma sources with supressed electrostatic coupling"Vacuum. 59. 472-478 (2001)
复制标题
S.Miyake、Y.Setsuhara、Y.Sakawa 和 T.Shoji：“内部天线驱动的感应射频放电，用于开发具有抑制静电耦合的大面积高密度等离子体源”真空。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
