Precise Structural Tuning of Porous GaN Using Two-Step Anisotropic Etching for Optical and Photo-Electric Applications

Precise Structural Tuning of Porous GaN Using Two-Step Anisotropic Etching for Optical and Photo-Electric Applications
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使用两步各向异性蚀刻对光学和光电应用中的多孔 GaN 进行精确结构调整

DOI:
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发表时间:
2016
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
T. Sato
T. Sato
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Y. Kumazaki;S. Matsumoto;T. Sato

文献摘要

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