単結晶シリコンの超精密切削における元素ドーピングの影響
単結晶シリコンの超精密切削における元素ドーピングの影響
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元素掺杂对单晶硅超精密切割的影响
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
楠 雄策，閻 紀旺
中科院分区：
文献类型：
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作者：
G. Herrera-Granados;N. Morita;H. Hidai;S. Matsusaka;A. Chiba.;K. Ashida;I. Ogura;Y. Okazaki;楠 雄策，閻 紀旺
