M.Ishikawa,G.Tochitani,M.Shimozuma & H.Tagashira: "Deposition of silicon oxide film on polymer using 50Hz plasma CVD" Proc.of 10th Symp.On Plasma Processing. XVI-3. 467-470 (1993)
M.Ishikawa,G.Tochitani,M.Shimozuma & H.Tagashira: "Deposition of silicon oxide film on polymer using 50Hz plasma CVD" Proc.of 10th Symp.On Plasma Processing. XVI-3. 467-470 (1993)
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M.石川、G.栃谷、M.Shimozuma
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