Ar+CH4平行平板型プラズマ CVD で作製した カーボンナノ粒子サイズに対するガス圧力の効果
Ar+CH4平行平板型プラズマ CVD で作製した カーボンナノ粒子サイズに対するガス圧力の効果
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气压对Ar+CH4平行板等离子体CVD制备碳纳米粒子尺寸的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
古閑 一憲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
永井瑛;千菅太一;宮永顕正;工藤史貴;江口正;古閑 一憲
