SiC migration enhanced embedded epitaxial growth technology

SiC migration enhanced embedded epitaxial growth technology
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SiC迁移增强嵌入式外延生长技术

DOI:
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发表时间:
2006
期刊:
Materials Science Forum 527-529
影响因子:
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通讯作者:
T.Kimoto 他
T.Kimoto 他
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
S. Miyazaki;M. Ikeda;K. Makihara;K. Shimanoe;R. Matsumoto;T.Kimoto 他;T.Kimoto 他;T.Kimoto 他

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