辻 博司、南雲正二、豊田啓孝、後藤康仁、石川順三: "イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定" 真空. 第38巻第3号. 221-223 (1995)
辻 博司、南雲正二、豊田啓孝、後藤康仁、石川順三: "イオン誘起二次電子分析による負イオン注入時のレジスト膜の帯電測定" 真空. 第38巻第3号. 221-223 (1995)
复制标题
Hiroshi Tsuji、Shoji Nagumo、Hirotaka Toyota、Yasuhito Goto、Junzo Ishikawa:“使用离子诱导二次电子分析进行负离子注入过程中的抗蚀剂膜的电荷测量”,真空,第 38 卷,第 3 期,第 221-223 期。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: