La_2O_3/Si直接接合構造における界面特性の評価

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La_2O_3/Si直接键合结构界面性能评价

DOI:
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发表时间:
2008
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
川那子高暢
川那子高暢
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Ishikawa;M;Ogawa;O.N.;Ohkouchi;N.;Kase;T.;石川牧子・加瀬友喜;高橋昭紀・石川牧子・本田恵理・平野弘道;Takamasa Kawanago;Takamasa Kawanago;川那子高暢;Takamasa Kawanago;川那子高暢;川那子高暢

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