Delay defect screening using process monitor structures
Delay defect screening using process monitor structures
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使用过程监控结构延迟缺陷筛选
DOI：
10.1109/vtest.2004.1299224
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S. Eichenberger
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Mitra;E. Volkerink;E. McCluskey;S. Eichenberger
本文介绍了从0.18 /SPL MU/工艺制造的测试芯片中收集的延迟测试数据。实验数据表明，工艺监控结构，如片上环形振荡器是有效的，在识别缓慢的部分，同时执行过渡故障测试的频率低于额定频率。
This paper presents delay test data collected from test chips fabricated in a 0.18 /spl mu/ technology. The experimental data shows that process monitor structures such as on-chip ring oscillators are effective in identifying slow parts while performing transition fault testing at frequencies slower than the rated frequency.