M. Shimizu, H. Ohmi, K. Yamane, R. Tanaka, A. Takeuchi, H. Kakiuchi, K. Yoshii and Y. Mori: "Development of Anisotropic Dry Etching Method Using Laser-Collimated Fluorine Radical Beam"Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. JSPE. Pub. Ser.
M. Shimizu, H. Ohmi, K. Yamane, R. Tanaka, A. Takeuchi, H. Kakiuchi, K. Yoshii and Y. Mori: "Development of Anisotropic Dry Etching Method Using Laser-Collimated Fluorine Radical Beam"Precision Science and Technology for Perfect Surfaces. JSPE. Pub. Ser.
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M. Shimizu、H. Ohmi、K. Yamane、R. Tanaka、A. Takeuchi、H. Kakiuchi、K. Yoshii 和 Y. Mori：“使用激光准直氟自由基束的各向异性干法蚀刻方法的开发”精密科学与
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